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卡套氣路系統(tǒng)可根據(jù)客戶需求提供定制化氣體輸送系統(tǒng)，包括電磁閥、截止閥、干燥器、過濾器、接頭等必要部件。

VD-03擴散器采用粉末冶金工藝制備的金屬多孔材料濾芯。濾芯在燒結(jié)過程中形成的大量微米級孔道能實現(xiàn)氣體勻化和層流化，保證氣體的通過性，達到較短的Vent-up時間。同時，這種微觀結(jié)構(gòu)強化了對亞微米顆粒吸附、擴散等過濾效應(yīng)，具有過濾最小粒徑0.0015μm顆粒的能力。擴散器殼體可以選用316L VV材料并進行EP處理，擴散器耐腐蝕性得到進一步提高。的焊接工藝保證了多孔材料濾芯與殼體的牢固結(jié)合，使擴散器整體具有高強度。

VCR氣路系統(tǒng)主要采用VCR密封形式，整體氣路系統(tǒng)由質(zhì)量流量控制器、隔膜閥、調(diào)壓閥、壓力傳感器、過濾器及不銹鋼管件接頭等部件組合而成，能夠根據(jù)客戶需求提供多種解決方案。

IGS氣路系統(tǒng)是專為半導(dǎo)體領(lǐng)域研發(fā)的新型氣路輸送解決方案。它采用氣體直路方向運輸設(shè)計，體積小巧，便于安裝與維護，滿足零部件小型化需求。華丞電子憑借多年研發(fā)經(jīng)驗，賦予其高密封性、高精度和高集成度特點，并依托特殊氣體實驗室，確保特殊氣體控制的高準確性，這也是未來IGS氣路系統(tǒng)的發(fā)展方向。