300mm 晶圓盒傳送存儲系統(tǒng)主要由晶圓盒FOUP載入系統(tǒng)LoadPort、晶圓盒緩存架Shelf、機(jī)械手Robot、全密封式FIMS、氣動系統(tǒng)以及電控系統(tǒng)等部分組成。實現(xiàn)晶圓盒FOUP的載入載出、暫存和晶圓盒FOUP開關(guān)等功能。該產(chǎn)品中晶圓盒FOUP載入系統(tǒng)分為A/B兩個工位，用于實現(xiàn)晶圓盒FOUP的載入載出，晶圓盒FOUP緩存架共有18個工位，可以實現(xiàn)多個FOUP的存儲。機(jī)械手Robot用于在各工位之間的取放和搬運。全密封FIMS可以實現(xiàn)晶圓盒FOUP開關(guān)盒功能并保證Stocker與工藝設(shè)備之間的密封要求。
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300mm (氮氣) 晶圓盒傳送存儲系統(tǒng)主要由晶圓盒FOUP載入系統(tǒng)LoadPort、晶圓盒FOUP緩存架Shelf、機(jī)械手Robot、全密封式FIMS、氮氣吹掃系統(tǒng)N2 Purge、氣動系統(tǒng)以及電控系統(tǒng)等部分組成。實現(xiàn)晶圓盒FOUP的載入載出、暫存、氮氣吹掃和晶圓盒FOUP開關(guān)盒等功能。該產(chǎn)品中晶圓盒FOUP載入系統(tǒng)分為A/B兩個工位，用于實現(xiàn)晶圓盒FOUP的載入載出，晶圓盒FOUP緩存架共有18個工位，可以實現(xiàn)多個晶圓盒FOUP的存儲，在存儲過程中氮氣吹掃系統(tǒng)N2 Purge功能開啟，可以有效降低晶圓盒FOUP內(nèi)的含氧量及濕度。機(jī)械手Robot用于在各工位之間的取放和搬運。全密封FIMS可以實現(xiàn)晶圓盒FOUP開關(guān)盒功能并保證Stocker與工藝設(shè)備之間的密封要求。
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