CS200H質(zhì)量流量控制器是流量計(jì)生產(chǎn)的數(shù)字型高溫產(chǎn)品，其電氣和機(jī)械部分采用分體式的設(shè)計(jì)，通過(guò)高溫線纜連接，可以實(shí)現(xiàn)在高溫環(huán)境下工作，能夠滿足復(fù)雜多變的半導(dǎo)體測(cè)量需求。
優(yōu)勢(shì)
• 控制器工作溫度：90~120℃。
• 高控制精度：產(chǎn)品精度可達(dá)±1.0% S.P.(≥35%F.S.)。
• 快速響應(yīng)，響應(yīng)時(shí)間≤ 0.8sec。
• 采用恒功率傳感器原理，在溫度變化時(shí)進(jìn)行相應(yīng)的補(bǔ)償，從根本上抑制了流量計(jì)的零漂現(xiàn)象，保證了傳感器線性。
• 產(chǎn)品采用專門(mén)的金屬表面處理技術(shù)，與氣體接觸的表面金屬材料全部使用316LVV，CS200產(chǎn)品金屬表面粗糙度更可達(dá)10RA以下，嚴(yán)格按照SEMI標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)制造。
• 支持±8V~±16V雙電源, +14V~+28V單電源供電;數(shù)字，模擬輸入輸出。
• 產(chǎn)品尺寸符合通用的SEMI標(biāo)準(zhǔn)，RS485，DeviceNet通訊方式。
CS200H質(zhì)量流量控制器技術(shù)參數(shù)
CS200 | ||
型號(hào) | CS200-H | |
閥類型 | 常閉 | 無(wú) |
流量規(guī)格(N2) | (0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | |
準(zhǔn)確度 | ±1.0% S.P. (≥35% F.S.) | |
線性 | ±0.5% F.S. | |
重復(fù)精度 | ±0.2% F.S. | |
響應(yīng)時(shí)間 | ≤ 1sec | |
工作壓差范圍 | 0.05～0.35MPa 流量規(guī)格≤10SLM | ＜0.02 MPa |
大工作壓力 | 0.45MPa | |
溫度系數(shù) | 零點(diǎn): ≤±0.1% F.S./℃；調(diào)節(jié)時(shí): ≤±0.1% F.S./℃ | |
耐壓強(qiáng)度 | 3MPa | |
漏率 | 1×10-11 Pa·m3 / sec He | |
密封材料 | 金屬密封 | |
工作環(huán)境溫度 | 質(zhì)量流量控制器/流量計(jì):（90～120）℃；控制盒:（0～50）℃ | |
輸入信號(hào) | 數(shù)字: RS485 或 DeviceNet | 無(wú) |
輸出信號(hào) | 數(shù)字:RS485或 DeviceNet | |
零漂 | 在沒(méi)有零點(diǎn)校正時(shí)＜0.6%F.S./年 | |
電源 | ±8 ～ ±16 VDC (雙極)或 +14 ～ +28 VDC (單極) | |
表面化學(xué)成分 | Cr/Fe比例 ≥2.0, CrO 厚度 ≥20 （埃） | |
表面粗糙度 | 10 Ra | |
標(biāo)準(zhǔn)接頭形式 | 雙卡套φ6；雙卡套1/4；VCR1/4陽(yáng)接頭；1.5´´C型密封接頭 | |
電源接頭形式 | D型9針陽(yáng)接頭；D型15針陽(yáng)接頭；DeviceNet接頭 | |
連接高溫電纜 | 2m | |
重量 | 1.2Kg | 1Kg |
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