D07-15質量流量控制器可以應用到對各種氣體進行測量和控制，除測量外還可以精密控制氣體的質量流量，質量流量計（MFM）可以精密測量氣體的質量流量。D07-15是流量計專門針對客戶對流量穩定性的需求研發的高穩流型產品。
D07-15質量流量控制器可以應用到對各種氣體進行測量和控制，除測量外還可以精密控制氣體的質量流量，質量流量計（MFM）可以精密測量氣體的質量流量。D07-15是流量計專門針對客戶對流量穩定性的需求研發的高穩流型產品。
特點
• 高穩流型
• 小體積，低波動
• 橡膠密封、模擬電路的MFC
• 采用P20金手指插頭
D07-15質量流量控制器技術參數
項 目 | D07-15 | D07-15A |
流量規格 | ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | |
準確度 | ±1% F.S. | |
線性 | ±0.5% F.S. | |
重復精度 | ±0.2% F.S. | |
響應時間 | ≤4 sec | |
工作壓差范圍 | (0.1 ~ 0.3) MPa | |
大工作壓力 | 0.5 | |
耐壓 | 3 MPa | |
工作環境溫度 | 5 ℃ ~ 45 ℃ | |
輸入輸出信號 | 0 V ~ +5.00 V(輸入阻抗大于100K, 輸出電流不大于3mA) | |
電源 | +15V 50mA | |
重量 | 0.85 kg | 0.9 kg |
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